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產(chǎn)品詳細頁
濃度計

濃度計

  • 產(chǎn)品型號:CM-200/210
  • 更新時間:2024-03-17
  • 產(chǎn)品介紹:實時顯示半導體制造工藝中的濃度為監(jiān)測半導體制造工藝中濃度而開發(fā)出來的高精度濃度計。該設備通過采用電磁感應導電率計測量并實時顯示濃度。適用于使用的制造工藝,例如:清洗蝕刻后的晶片。
  • 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339

產(chǎn)品介紹

特點

實時顯示濃度
可以通過導電率傳感器檢測濃度,通過<導電率>-<氟酸濃度>的檢量線,自動地實時顯示氟酸濃度。

實現(xiàn)了半導體制造工藝中低濃度范圍的高精度
產(chǎn)品幾乎覆蓋了半導體制造工藝中所使用的溶液的量程(0-1/2/5/10/20wt%)。即使在0-1wt%的低濃度量程中,也實現(xiàn)了±2%F.S.以內(nèi)的再現(xiàn)精度。適合于要求低濃度范圍控制的存儲器生產(chǎn)線中發(fā)揮出威力。

確保穩(wěn)定檢測的傳感器
沉浸型傳感器已經(jīng)被PFA樹脂模塊化,所以不會因溶液而發(fā)生金屬腐蝕現(xiàn)象。并且,金屬等不純物不會溶入到樣品溶液中,因此可以對其進行穩(wěn)定的檢測。

裝有報警功能
為了實現(xiàn)更加可靠的工藝管理,分別具有濃度輸出以及濃度上限?濃度上上限?濃度下限?濃度下下限的報警輸出功能。

可以用于多用途
采用小巧的DIN96尺寸的轉換器。小型?輕便,適于組裝到氟酸的稀釋裝置、供給裝置、晶片的清洗裝置中。并且,具有浸沒到液體中的沉浸型傳感器(CM-200)和設置在工藝配管中的流通形傳感器(CM-210)。您可以根據(jù)用途選擇。

測量原理

2個環(huán)狀螺線管(T1是通過交流電的勵磁變壓器、T2是檢測變壓器)被模塊化于傳感器的塑料外殼內(nèi)部。當傳感器沉浸在溶液中時,溶液將在2個環(huán)狀螺線管之間產(chǎn)生一個閉合回路。如果環(huán)狀螺線管T1的線圈中通過一恒定的交流電流,則會在磁圈中產(chǎn)生一恒定的磁場,依照樣品的導電率電流i流過樣品溶液。根據(jù)電流i環(huán)狀螺線管T2中將會產(chǎn)生相應的磁場,并且在T2的線圈中將會產(chǎn)生感應電動勢。由于感應電動勢e(電壓)與樣品的電導率呈比例關系,通過測量e可得知電導率值。這樣經(jīng)過檢測的導電率和濃度存在高的關聯(lián)性,可以根據(jù)預已知的參考曲線計算得出并顯示濃度。

 

規(guī)格

測量原理

電磁感應導電率檢測方式

檢測對象

水+溶液

量程

0?1/2/5/10/20HFwt%(請您在訂貨時)

再現(xiàn)性

±2% F.S

響應時間

90%響應5秒以內(nèi)(恒溫條件下)

樣品條件

溫度:25±3℃
壓力:沉浸型0?0.02MPa、流通型0?0.1MPa

顯示

濃度:小顯示值0.001%(在0-1%量程中)
報警: 濃度上限、上上限、下限、下下限

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